ZHCSJ28B November 2018 – August 2025 TMUX6136
PRODUCTION DATA
利用 TMUX6136 精密性能的示例之一是在半導(dǎo)體自動測試設(shè)備 (ATE) 應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)參數(shù)測量單元 (PMU)。PMU 常用于表征和測量被測器件 (DUT) 的數(shù)字引腳直流特性。在所有 PMU 功能中,加壓測流 (FVMC) 和加流測壓 (FCMV) 是直流特性表征中的兩種最典型配置。
圖 7-1 PMU 中的 FVMC 測量
圖 7-2 PMU 中的 FCMV 測量圖 7-1 展示了 FVMC 配置中 PMU 的簡化示意圖。控制環(huán)路由強(qiáng)制放大器和構(gòu)成反饋路徑的電壓檢測放大器(本例中為單位增益)組成。通過檢測流經(jīng)與 DUT 串聯(lián)的檢測電阻器 (RSENSE) 的電流,可測量流經(jīng) DUT 的電流。增益為 Av 的電流檢測放大器在其輸出端產(chǎn)生電壓 (VOUT),該電壓隨后可由 ADC 測量。只要強(qiáng)制放大器未達(dá)到極限(例如,IDUT × RSENSE × Av 保持在強(qiáng)制放大器的輸入電壓范圍內(nèi)),DUT 引腳上產(chǎn)生的電壓就會保持在輸入電壓水平 (IN)。根據(jù)要測量的 DUT 電流水平,需要為電流檢測放大器配置不同的增益設(shè)置。
圖 7-2 展示了 FCMV 模式中 PMU 的簡化示意圖。電壓 VIN 現(xiàn)在通過以下關(guān)系轉(zhuǎn)換為電流:
控制環(huán)路由強(qiáng)制放大器和構(gòu)成反饋路徑的電流檢測放大器組成。DUT 上的電壓在電壓檢測放大器(本例中為單位增益)上進(jìn)行檢測,并呈現(xiàn)在輸出端以供采樣。